行業(yè)背景
IC設(shè)計(jì)（Integrated Circuit Design）稱為集成電路設(shè)計(jì)，是運(yùn)用專業(yè)的邏輯和電路設(shè)計(jì)技術(shù)設(shè)計(jì)集成電路。根據(jù)世界半導(dǎo)體貿(mào)易組織（WSTS），2014年全球IC /半導(dǎo)體銷售額達(dá)到3,254億美元，同比增長(zhǎng)6.48%，2015年銷售額達(dá)到3610億美元，增長(zhǎng)率為25%。預(yù)計(jì)未來五年仍是IC設(shè)計(jì)行業(yè)高速發(fā)展的黃金時(shí)期。
面臨挑戰(zhàn)
IC納米制程工藝中，集成電路的精細(xì)度高，也就是說精度越高，生產(chǎn)工藝越先進(jìn)。在處理器內(nèi)部集成更多的晶體管后，可實(shí)現(xiàn)更多的功能和更高的性能，直接降低了處理器的生產(chǎn)成本，減少處理器的功耗。但隨著集成電路中的工藝節(jié)點(diǎn)越來越小，關(guān)鍵尺寸測(cè)量也同時(shí)面臨越來越大的挑戰(zhàn)。這樣如何測(cè)量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息顯得尤為重要。
解決方案
ME-L系列穆勒橢偏儀根據(jù)測(cè)量到橢偏參數(shù)（Ψ ：振幅比，△：相位差），通過內(nèi)置數(shù)百個(gè)光學(xué)模型進(jìn)行擬合可一次性測(cè)量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息。
1.建立光學(xué)模型
2.建立光學(xué)模型
客戶價(jià)值
ME-L系列橢偏儀非常適用于納米級(jí)光柵的結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息的測(cè)量與分析，并能快速一次性完成其多個(gè)重要參數(shù)測(cè)量。同時(shí)支持定制化整合于工藝流程實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)，大幅度提升企業(yè)的整合生產(chǎn)效率。
關(guān)聯(lián)產(chǎn)品與配置
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ME-L穆勒矩陣橢偏儀 |
0571-86775300
