一、產(chǎn)品概述
熱解氮化硼屬于特種陶瓷材料。熱解氮化硼的沉積過程宛如“落雪”,氮化硼的六角形小雪片,一片一片的平行的落在基體材料上,達(dá)到一定厚度后,較終冷卻脫模而成。
二、主要特點(diǎn)
1.材料呈白色,無毒、易加工。
2.純度高達(dá)99.99%,密度可達(dá)2.2g/cm3,表面致密,氣密性好。
3.耐高溫,且強(qiáng)度隨溫度升高而增大,2200℃達(dá)到極值。
4.耐酸、堿、鹽及有機(jī)試劑腐蝕,高溫下與絕大多數(shù)金屬、半導(dǎo)體不浸潤、不反應(yīng)。
5.抗熱震性好,熱導(dǎo)性好,熱膨脹系數(shù)低。
6.電阻高,介電強(qiáng)度高,介電常數(shù)小,磁損耗角正切低,并具有良好的透微波和紅外線性能。
7.在力學(xué)、熱學(xué)、電學(xué)等性能上有著明顯的各向異性。
三、產(chǎn)品應(yīng)用
1.原位合成GaAs、InP、GaP等半導(dǎo)體單晶的坩堝。
2.其他III-V族化合物單晶或多晶合成用的坩堝、舟皿。
3.分子束外延用的MBE系列坩堝。
4.退火爐用PBN/PG復(fù)合加熱器涂層。
5.高溫真空爐內(nèi)絕緣件。
6.石墨加熱器絕緣涂層。
7.高溫絕緣噴嘴。
8.MOCVD絕緣板。
9.異形坩堝及異形石墨件涂層。
10.特種冶金用坩堝