T3Ster是MicReD研發(fā)制造的先進(jìn)的熱測(cè)試儀,用于測(cè)試IC、LED、散熱器、熱管等電子器件的熱特性。T3Ster基于先進(jìn)的JEDEC ‘Static Method’測(cè)試方法(JESD51-1),通過改變電子器件的輸入功率,使得器件產(chǎn)生溫度變化,在變化過程中,T3Ster測(cè)試出芯片的瞬態(tài)溫度響應(yīng)曲線,僅在幾分鐘之內(nèi)即可分析得到關(guān)于該電子器件的全面的熱特性。T3Ster測(cè)試技術(shù)不是基于“脈沖方法”的熱測(cè)試儀,“脈沖方法”由于是基于延時(shí)測(cè)量的技術(shù)所以其測(cè)出的溫度瞬態(tài)測(cè)試曲線精度不高,而T3Ster 采用的是“運(yùn)行中”的實(shí)時(shí)測(cè)量的方法,結(jié)合其精密的硬件可以快速精確撲捉到高信噪比的溫度瞬態(tài)曲線。
T3Ster運(yùn)用先進(jìn)的JEDEC穩(wěn)態(tài)實(shí)時(shí)測(cè)試方法(JESD51-1),專業(yè)測(cè)試各類IC(包括二極管、三極管、MOSFET、SOC、MEMS等)、LED、散熱器、熱管、PCB及導(dǎo)熱材料等的熱阻、熱容及導(dǎo)熱系數(shù)、接觸熱阻等熱特性。配合專為LED產(chǎn)業(yè)開發(fā)的選配件TERALED可以實(shí)現(xiàn)LED器件和組件的光熱一體化測(cè)量。
符合JEDEC JESD51-1和MIL-STD-750E標(biāo)準(zhǔn)法規(guī)。
T3Ster熱阻測(cè)試儀工作原理
T3Ster設(shè)備提供了非破壞性的熱測(cè)試方法,其原理為:
1) 首先通過改變電子器件的功率輸入;
2) 通過TSP (Temperature Sensitive Parameter熱敏參數(shù))測(cè)試出電子器件的瞬態(tài)溫度變化曲線;
3) 對(duì)溫度變化曲線進(jìn)行數(shù)值處理,抽取出結(jié)構(gòu)函數(shù);
4) 從結(jié)構(gòu)函數(shù)中自動(dòng)分析出熱阻和熱容等熱屬性參數(shù)。
◆ 應(yīng)用范圍:
• 各種三極管、二極管等半導(dǎo)體分立器件,包括:常見的半導(dǎo)體閘流管、雙極型晶體管、以及大功率IGBT、MOSFET、LED等器件;
• 各種復(fù)雜的IC以及MCM、SIP、SoC等新型結(jié)構(gòu) ;
• 各種復(fù)雜的散熱模組的熱特性測(cè)試,如熱管、風(fēng)扇等。
◆ 功能:
• 半導(dǎo)體器件結(jié)溫測(cè)量;
• 半導(dǎo)體器件穩(wěn)態(tài)熱阻及瞬態(tài)熱阻抗測(cè)量;
• 半導(dǎo)體器件封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)分析,包括器件封裝內(nèi)部每層結(jié)構(gòu)(芯片+焊接層+熱沉等)的熱阻和熱容參數(shù);
• 半導(dǎo)體器件老化試驗(yàn)分析和封裝缺陷診斷,幫助用戶準(zhǔn)確定位封裝內(nèi)部的缺陷結(jié)構(gòu)。
• 材料熱特性測(cè)量(導(dǎo)熱系數(shù)和比熱容)
• 接觸熱阻測(cè)量,包括導(dǎo)熱膠、新型熱接觸材料的導(dǎo)熱性能測(cè)試。
測(cè)試方法——基于電學(xué)法的熱瞬態(tài)測(cè)試技術(shù)
◆ 測(cè)試方法——電學(xué)法
• 尋找器件內(nèi)部具有溫度敏感特性的電學(xué)參數(shù),通過測(cè)量該溫度敏感參數(shù)(TSP)的變化來得到結(jié)溫的變化。
• TSP的選擇:一般選取器件內(nèi)PN結(jié)的正向結(jié)電壓。
◆ 測(cè)試技術(shù):熱瞬態(tài)測(cè)試
• 當(dāng)器件的功率發(fā)生變化時(shí),器件的結(jié)溫會(huì)從一個(gè)熱穩(wěn)定狀態(tài)變到另一個(gè)穩(wěn)定狀態(tài),我們的儀器將會(huì)記錄結(jié)溫在這個(gè)過程中瞬態(tài)變化曲線。
• 一次測(cè)試,既可以得到穩(wěn)態(tài)的結(jié)溫?zé)嶙钄?shù)據(jù),也可以得到結(jié)溫隨著時(shí)間的瞬態(tài)變化曲線。
• 瞬態(tài)溫度響應(yīng)曲線包含了熱流傳導(dǎo)路徑中每層結(jié)構(gòu)的詳細(xì)熱學(xué)信息(熱阻和熱容參數(shù))。
組件配置
◆ 熱測(cè)試主機(jī)
計(jì)算機(jī)控制接口 |
USB接口,滿足數(shù)據(jù)傳輸提取方便的要求
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測(cè)試時(shí)間
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以分鐘為單位計(jì)
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結(jié)溫測(cè)試分辨率
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0.01℃
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較大加熱時(shí)間
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不限 |
較小測(cè)試延遲時(shí)間
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1us(用戶可根據(jù)需要在軟件中調(diào)節(jié)1us~10000s不限) |
RC網(wǎng)絡(luò)模型級(jí)數(shù)
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2-100個(gè) |
• 功率輸出模塊
加熱電流源
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-2A~2A
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加熱電壓源
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-10V~10V
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測(cè)試電流源(4路)
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-25mA~25mA
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• 數(shù)據(jù)采集模塊及控制模塊
較小測(cè)試延遲時(shí)間(tMD)
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1µs
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較小采樣時(shí)間間隔(ts)
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1µs
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每倍頻采樣點(diǎn)數(shù)
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400個(gè)(典型值)
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較大采樣點(diǎn)數(shù)
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65000個(gè)
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測(cè)量通道
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2個(gè)(較大可擴(kuò)展至8個(gè))
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電壓變化測(cè)量檔位
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400mv/200mv/100mv/50mv
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電壓測(cè)量分辨率
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12μV(以50mV量程計(jì)算)
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◆ 溫度控制設(shè)備
T3Ster為客戶提供了三種溫度可控的恒溫設(shè)備,包括:干式溫控儀、濕式溫控儀以及液冷板。這三種恒溫設(shè)備除了能控制待測(cè)器件的溫度以測(cè)試器件的K系數(shù),同時(shí)還能作為結(jié)溫?zé)嶙铚y(cè)試時(shí)器件的散熱環(huán)境,幫助控制器件的殼溫。
• 干式溫控儀
干式溫控儀采用熱電致冷芯片(Peltier單體)來控制器件的溫度。
計(jì)算機(jī)控制接口
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COM
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恒溫槽尺寸
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52*52*10 mm3
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溫度控制范圍
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5 - 90 oC
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溫度控制精度
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± 0.2 oC
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溫度過載保護(hù)
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95 oC
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散熱功率
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8W
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• 濕式溫控儀
濕式溫控儀采用油浴的方式來控制待測(cè)器件的溫度,使用時(shí)將待測(cè)器件浸沒在液體中以獲得恒溫環(huán)境。此外T3Ster提供的濕式溫控儀還可以作為一個(gè)動(dòng)力泵,驅(qū)動(dòng)外接的液冷板以控制液冷板的溫度。
型號(hào)
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溫度范圍(℃)
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溫度穩(wěn)定性(℃)
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加熱功率(KW)
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制冷功率
20℃(KW)
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油槽尺寸
(W×L/D cm)
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F25-HE
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-28~200
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±0.01
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2
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0.26
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12×14/14
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F32-HE
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-35~200
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±0.01
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2
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0.45
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18×12/15
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F34-HE
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-30~150
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±0.01
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2
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0.45
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24×30/15
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• 液冷板
液冷板的作用:與濕式溫控儀配套使用,可以控制冷板的溫度,為測(cè)試器件的結(jié)溫、熱阻提供恒定的溫度環(huán)境。
(1)外觀尺寸:550*160*110 mm;
(2)單板尺寸:540*140*20 mm;
(3)材質(zhì):硬級(jí)鋁;
• T3Ster液冷夾具
(1) 和T3Ster濕式溫控儀配套使用,利用液冷的方式來控制待測(cè)器件的殼溫,并配以氣動(dòng)壓緊裝置。
(2) 散熱冷板材質(zhì):銅。
(3) 有效散熱面積:210mm*210mm
(4) 配備平底器件以及TO封裝器件(包括TO-3)的測(cè)試夾具。
◆ T3Ster-Gold ref/熱測(cè)試儀校正樣品(Golden Reference)
性能穩(wěn)定的半導(dǎo)體器件,方便用戶定期檢測(cè)測(cè)試主機(jī)的功能是否正常。
標(biāo)準(zhǔn)靜止空氣箱(still-air chamber)
1)滿足JEDEC JESD 51-2要求
2)尺寸:1立方英尺
熱電偶前置放大器
1)方便T3Ster主機(jī)與J, K或 T 型熱電偶的聯(lián)接。
2)T3Ster主機(jī)可以方便地測(cè)試熱電偶接觸點(diǎn)的溫度隨著時(shí)間變化的曲線。
◆ 大功率BOOSTER
高電流模式
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單通道
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38A/40V
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50A/30V
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200A/7V
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測(cè)試電流:0~200mA |
測(cè)試電流:0~200mA |
測(cè)試電流:0~500mA
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柵極電壓源:15V
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雙通道
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38A/40V
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50A/30V [1]
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三通道
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200A/7V [2]
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注解:【1】通過雙通道并聯(lián),輸出電流較高可達(dá)100A
【2】通過三通道并聯(lián),輸出電流較高可達(dá)600A
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單通道高電流booster |
雙通道高電流booster |
高電壓模式
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單通道
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10A/100V
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10A/150V
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10A/280V
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測(cè)試電流:0~200mA |
測(cè)試電流:0~200mA |
測(cè)試電流:0~200mA
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雙通道
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10A/150V
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10A/280V
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單通道高電壓booster 雙通道高電壓booster
◆TeraLED
1)完全符合CIE 127-2007關(guān)于LED光測(cè)試的要求。
2)配合T3Ster可以滿足JESD 51-52規(guī)定的LED光熱一體化測(cè)試的要求。
3)整套系統(tǒng)包括:Φ300mm或Φ500mm積分球1個(gè),參考LED1個(gè),多功能光度探頭1個(gè),TERALED控制系統(tǒng)1套,恒溫基座1個(gè)。
4)測(cè)試功能:
(1)測(cè)試LED基于熱功率的真實(shí)熱阻;
(2)測(cè)試不同的電流與結(jié)溫下的
a)、二極管的伏安特性;
b)、光功率(mW);
c)、光通量(lm)(包括明視覺光通量和暗視覺光通量);
d)、流明效率(lm/W);
e)、色坐標(biāo)(X,Y,Z三刺激值);
f)、色溫。
◆ 數(shù)據(jù)分析軟件(T3Ster Master)
數(shù)據(jù)分析軟件T3SterMaster提供了數(shù)據(jù)的分析功能,幾秒鐘內(nèi),軟件就可以將采集的數(shù)據(jù)以結(jié)構(gòu)函數(shù)的形式表現(xiàn)出來。測(cè)試結(jié)果包括:測(cè)量參數(shù)(Record Parameters),測(cè)量得到的瞬態(tài)溫度響應(yīng)曲線(Measured response),分析后的瞬態(tài)溫度響應(yīng)曲線(Smoothed response),熱阻抗曲線(Zth),時(shí)間常數(shù)譜(Tau Intensity),頻域分析(Complex Locus),脈沖熱阻(Pulse Thermal Resistance),積分結(jié)構(gòu)函數(shù)以及微分結(jié)構(gòu)函數(shù)。
(1)測(cè)試參數(shù)(Record Parameter)
詳細(xì)記錄了每次測(cè)試的測(cè)試參數(shù),包括加熱功率,待測(cè)器件的k系數(shù),測(cè)試時(shí)間以及測(cè)試通道等。
(2)瞬態(tài)溫度響應(yīng)曲線
橫坐標(biāo)為時(shí)間,縱坐標(biāo)為結(jié)溫的改變,詳細(xì)記錄了結(jié)溫隨著時(shí)間瞬態(tài)變化的曲線。從該圖可以得到待測(cè)器件在達(dá)到熱穩(wěn)定狀態(tài)時(shí)結(jié)溫的變化量。
(3)熱阻抗曲線
將瞬態(tài)溫度響應(yīng)曲線對(duì)加熱功率進(jìn)行歸一化即可得到熱阻抗曲線。橫坐標(biāo)為時(shí)間,縱坐標(biāo)為熱阻抗。可以從圖中讀出某一時(shí)刻的熱阻抗以及達(dá)到熱穩(wěn)定狀態(tài)后的總熱阻。
(4)頻域響應(yīng)(Complex Locus)
圖中橫坐標(biāo)為實(shí)部,表示幅值的改變,縱坐標(biāo)為虛部,表示相位的變化。如圖所示,在不同的頻率下,其熱阻值和相位延遲是不同的。
該特性主要用于高頻器件的設(shè)計(jì)優(yōu)化過程,可研究器件在各種不同頻率情況下的熱性能。當(dāng)輸入的功率信號(hào)為Asin(ωt+Ф)時(shí),器件結(jié)溫的升高不僅受幅值A(chǔ)的影響,還和輸入功率的頻率ω有關(guān)。由于熱容的存在,溫度變化的較大值和功率的較大值是不同步的,他們之間會(huì)存在一個(gè)相位延遲△Ф。而且同一個(gè)功率值在高頻工況下對(duì)器件造成的溫升比低頻工況下造成的溫升低,這是由于在高頻條件下,熱量被更多地儲(chǔ)存在芯片附近的熱容層,并沒有往外耗散。因此頻域分析對(duì)于高頻器件的設(shè)計(jì)優(yōu)化非常有用。
(5)脈沖熱阻(Pulse Thermal Resistance)
該功能描述的是器件工作在脈沖方波情況下的熱學(xué)特性。橫坐標(biāo)是脈沖寬度(s),縱坐標(biāo)是脈沖熱阻值(℃/W)。器件工作在脈沖方波情況下,其熱阻值與脈沖寬度和占空比有關(guān)。
(6)積分結(jié)構(gòu)函數(shù)與微分結(jié)構(gòu)函數(shù)
通過積分結(jié)構(gòu)函數(shù)和微分結(jié)構(gòu)函數(shù)可以分析熱傳導(dǎo)路徑上每層結(jié)構(gòu)的熱阻以及熱容信息,構(gòu)建器件等效熱學(xué)模型,作為器件封裝工藝、可靠性試驗(yàn)、材料熱特性以及接觸熱阻的強(qiáng)大支持工具。
(7)RC網(wǎng)絡(luò)模型
用戶可根據(jù)實(shí)際需求在分析軟件中選擇RC模型的級(jí)數(shù)或者選擇軟件默認(rèn)的全部RC模型級(jí)數(shù),RC模型級(jí)數(shù):2-100個(gè),并將分析得到的RC數(shù)值保存在測(cè)試文件中。
軟件會(huì)給出根據(jù)RC模型得到的瞬態(tài)熱阻抗曲線與實(shí)測(cè)瞬態(tài)熱阻抗曲線的對(duì)比。
T3Ster的工作原理(硬件實(shí)時(shí)采集+結(jié)構(gòu)函數(shù)分析)
◆ 測(cè)試K系數(shù):建立結(jié)溫與電壓之間的關(guān)系
在器件本身的自發(fā)熱(self-heating)可以忽略的情況下,將器件置于溫度可控的恒溫環(huán)境中,改變環(huán)境溫度,測(cè)量TSP。得到一條校準(zhǔn)曲線。該直線的斜率即為k系數(shù)。
在接下來的過程中,測(cè)量得到的電壓變化值乘以k值即為結(jié)溫變化量。
◆ 熱測(cè)試
• 常規(guī)測(cè)試步驟
1. 通入工作電流,使結(jié)溫升高達(dá)到飽和。
2、進(jìn)行工作電流到測(cè)量電流的高速切換。(1us)
3、在結(jié)溫下降過程中,實(shí)時(shí)采樣pn結(jié)電壓,再通過K系數(shù)得到pn結(jié)點(diǎn)的降溫曲線,采樣間隔較快為1us。
• T3Ster硬件的技術(shù)優(yōu)勢(shì)
A. 先進(jìn)的靜態(tài)實(shí)時(shí)測(cè)試方法
T3Ster兼具JESD51-1規(guī)定的的靜態(tài)測(cè)試法(static mode)和動(dòng)態(tài)測(cè)試法(dynamic mode),但是靜態(tài)測(cè)試法更先進(jìn),更高端,因此我們推薦用戶采用靜態(tài)測(cè)試法。靜態(tài)測(cè)試法可以實(shí)時(shí)地采集待測(cè)器件的結(jié)溫隨著時(shí)間的變化,而動(dòng)態(tài)測(cè)試法是通過人為構(gòu)建脈沖加熱功率來模擬瞬態(tài)過程,并非器件實(shí)際的瞬態(tài)溫度響應(yīng)。靜態(tài)法的測(cè)試時(shí)間短、測(cè)試數(shù)據(jù)點(diǎn)密而且測(cè)試數(shù)據(jù)的信噪比更高。
B. 測(cè)試啟動(dòng)時(shí)間高達(dá)1us,保證了測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性
研究表明,在測(cè)試中如果瞬態(tài)變化較初1ms時(shí)間內(nèi)的溫度沒有被采集到,較終的熱阻值將被低估10%-15%左右。
C、實(shí)時(shí)采樣時(shí)間間隔高達(dá)1us,采樣點(diǎn)數(shù)較多65000點(diǎn),保證了數(shù)據(jù)的完備性
• 結(jié)構(gòu)函數(shù)
硬件采集完畢后,通過數(shù)據(jù)分析軟件,幫助用戶得到可以直接分析器件內(nèi)部結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)函數(shù)。
結(jié)構(gòu)函數(shù):將器件封裝結(jié)構(gòu)可視化的函數(shù)。方便用戶進(jìn)行熱傳導(dǎo)路徑上各種結(jié)構(gòu)的分層、進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析。
1)如何利用結(jié)構(gòu)函數(shù)識(shí)別器件的結(jié)構(gòu)
2) 利用結(jié)構(gòu)函數(shù)識(shí)別器件封裝內(nèi)部的“缺陷”
當(dāng)器件某個(gè)結(jié)構(gòu)或接觸發(fā)生變化時(shí),我們可以通過對(duì)比試驗(yàn)清晰地看到
利用結(jié)構(gòu)函數(shù)可以幫助用戶識(shí)別器件內(nèi)部的缺陷,并能定量得到該缺陷引起的熱阻變化。