CPS-7000低溫真空探針臺(tái)
CPS-7000系列液氮/液氦低溫真空探針臺(tái)是Parutulab佰力博公司匠心打造的一款低溫電學(xué)測(cè)量綜合性平臺(tái)，是一種利用液氮/液氦快速制并為半導(dǎo)體晶圓片、器件、材料（薄膜、納米、石墨烯、電子功能材料、超導(dǎo)材料、導(dǎo)電材料）等提供一個(gè)真空和低溫測(cè)量環(huán)境下進(jìn)行非破壞性的電學(xué)表征和測(cè)量平臺(tái)。該低溫真空探針臺(tái)可以對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行電學(xué)測(cè)量（IV、CV、DC高阻、DC低阻、RF和微波、光電效應(yīng)等），廣泛應(yīng)用于高校、科研、航空航天、軍工院所等領(lǐng)域，是低溫薄膜材料電學(xué)測(cè)量殺手利器。
配置：
--液氮/液氦低溫探針臺(tái)
--4軸或6軸XYZ位移平臺(tái)
--VSZ70可視化視覺(jué)系統(tǒng)
--PPS-90真空輔助系統(tǒng)及真空閥門、測(cè)量控制
--LNP95液氮傳輸系統(tǒng)
--可選SRS溫控儀/Lakeshore溫控儀及傳感器
--可選不同電學(xué)測(cè)量功能套件
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