產(chǎn)品介紹 
顯微激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動(dòng)測量儀器，也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對微小物體的振動(dòng)測量，可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。


 

特點(diǎn)
1. 非接觸測量，無負(fù)載；
2. 激光光斑極小，微米級；
3. 優(yōu)越的帶寬和動(dòng)態(tài)范圍；
4. 高空間分辨率；
5. 工作距離可選；
6. 高靈活性、易安裝、易操作；
7. 振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測量精度高
8. 配有同軸照明裝置和相機(jī)，可以方便迅速地確定測量位置。

擴(kuò)展功能
1. 利用顯微鏡視頻閃頻技術(shù)測量物體面內(nèi)振動(dòng)特性(可定制)
2. 通過白光干涉測量物體形貌特性(可定制)

應(yīng)用領(lǐng)域 
1 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）動(dòng)態(tài)測試
2 生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、動(dòng)物學(xué)研究，如昆蟲等生物的活體的振動(dòng)特性測量
3 計(jì)算機(jī)外設(shè)的動(dòng)態(tài)測試：硬盤驅(qū)動(dòng)器、光盤機(jī)、磁帶機(jī)、頭/盤接口等；
4 超聲振動(dòng)測量
5 壓電陶瓷振動(dòng)測量
6 弦線/絲線振動(dòng)特性測量
7 微型陀螺儀振動(dòng)測量