特點(diǎn)：

1、采用國(guó)外知名品牌部件：循環(huán)水路設(shè)計(jì)，帶過(guò)濾部件，延長(zhǎng)清洗爐體水路；紅外燈管壽命高達(dá)5000小時(shí)，峰值波長(zhǎng)約為1.25微米，爐體工藝鏡面拋光。

2、高精度控溫：進(jìn)口歐姆龍程序控溫表，模糊邏輯PID控溫，控溫精度可達(dá)±0.1℃。

3、快速控溫：高能流密度紅外燈和鍍金反射鏡設(shè)計(jì)，使儀器可快速加熱至1150℃；同時(shí)，爐體的熱容小，配合水冷系統(tǒng)和風(fēng)冷系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)溫度快速冷卻，提高使用效率。

4、異常報(bào)警保護(hù)：爐膛配有爐體外表溫度開(kāi)關(guān)，水冷附加有流量開(kāi)關(guān)。超溫報(bào)警和流量異常時(shí)均會(huì)切斷加熱，保護(hù)爐膛。

5、潔凈控溫：非電阻爐加熱，無(wú)絕熱保溫材料，更適合在潔凈環(huán)境中使用。

6、可擴(kuò)展性：帶觀察窗，可配CCD，采集光學(xué)信號(hào)；預(yù)留接口，可加載電學(xué)測(cè)量模塊。

應(yīng)用功能：

強(qiáng)誘導(dǎo)體薄膜的結(jié)晶化退火

注入離子后的擴(kuò)散退火

半導(dǎo)體材料的燒成與退火條件研究

快速熱退火

快速熱氧化

快速熱氮化

電極合金化

晶向化和堅(jiān)化