行業(yè)背景
光能發(fā)電是指利用光伏效應(yīng),將太陽能轉(zhuǎn)化電能的發(fā)電模式。與水電、風(fēng)電、核電等相比,太陽能發(fā)電沒有任何排放和噪聲,應(yīng)用技術(shù)成熟,安全可靠。2015年我國光伏新增裝機(jī)量約15GW,同比增長40%以上,全國光伏發(fā)電累計(jì)裝機(jī)量約43GW,超越德國成為全球光伏累計(jì)裝機(jī)量最大的國家。
面臨挑戰(zhàn)
太陽能光伏電池材料主要有晶體硅材料,晶體硅材料是目前普遍使用的光伏發(fā)電材料,高效硅電池的生產(chǎn)建立在高質(zhì)量材料和成熟的加工工藝基礎(chǔ)上,硅電池工藝已近成熟,提高其光電轉(zhuǎn)換效率主要靠單晶硅表面微結(jié)構(gòu)處理和分區(qū)摻雜工藝。研究SiO2/SiNx等疊層對晶體硅表面的鈍化作用,通過改變SiO2與SiNx薄層厚度以及工藝條件,可增強(qiáng)了對硅片的鈍化以及光陷作用。這樣就涉及到薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)等關(guān)鍵參數(shù)的測量與表征的問題。此外碲化鎘(CdTe)、鈣鈦礦等新型薄膜太陽能電池具有轉(zhuǎn)換效率高、價格低廉、輕便可柔性的點(diǎn),同樣也涉及到薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等關(guān)鍵參數(shù)的測量與表征
解決方案
通過ME-L穆勒矩陣橢偏儀/SE-L光譜橢偏儀可以快速準(zhǔn)確測量SiO2/SiNx疊層或新型碲化鎘、鈣鈦礦等光伏薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)等。采用集成ME-L/SE-L在線監(jiān)測裝備系統(tǒng)PMS可快速準(zhǔn)確完成產(chǎn)品的測量任務(wù)之外,可降低生產(chǎn)成本并完美整合到生產(chǎn)工藝流程中。
2.建立光學(xué)模型
客戶價值
通過ME/SE系列橢偏儀可以快速準(zhǔn)確表征光伏薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)等;確保材料以及產(chǎn)品的品質(zhì)。此外采用集成ME-L/SE-L在線監(jiān)測裝備系統(tǒng)PMS可快速準(zhǔn)確完成產(chǎn)品的測量任務(wù)之外,可完美整合到生產(chǎn)工藝流程中,大幅度提高企業(yè)生產(chǎn)效率,帶來更大企業(yè)價值。
關(guān)聯(lián)產(chǎn)品與配置
ME-L穆勒矩陣橢偏儀 | SE-PV光譜橢偏儀 |