RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
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RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。 儀器由主機、測試臺、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制進行全自動測試,然后把測試數(shù)據(jù)采集到計算機中加以分析,以表格、圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。 |
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RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)面板
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RTS-1345型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。 |
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