產(chǎn)品詳細介紹：

        PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（ 1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

主要特點：

1、通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。

2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

3、設(shè)有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口。

4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。