產(chǎn)品概述

橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備針對(duì)LCD、OLED等新型平板顯示量光學(xué)薄膜質(zhì)量控制需要，專門(mén)設(shè)計(jì)的在線薄膜測(cè)量系統(tǒng)?？蛇m用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件，自動(dòng)實(shí)現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的全片快速掃描測(cè)量。

特色功能

。支持產(chǎn)線大基片自定義多點(diǎn)掃描測(cè)量并輸出報(bào)告

。支持最大193-2500nm全波段分析測(cè)量

。支持多橢偏方案，多組合集成

。支持測(cè)頭模塊以及樣件機(jī)臺(tái)定制化

應(yīng)用場(chǎng)景 

應(yīng)用于工業(yè)中新型光電器件行業(yè)所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/無(wú)機(jī)封裝薄膜大基片各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的在線式全片快速掃描測(cè)量。