SE-VM 是一款高精度快速測(cè)量光譜橢偏儀?？赏ㄟ^橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析，適用于薄膜材料的快速測(cè)量表征。
概述
SE-VM 是一款高精度快速測(cè)量光譜橢偏儀?？赏ㄟ^橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析，適用于薄膜材料的快速測(cè)量表征。支持多角度，微光斑，可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置，多功能模塊定制化設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)；
高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置，實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集；
支持系列配置靈活，可根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)景支持多功能模塊化定制；
數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù)，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；
產(chǎn)品應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測(cè)量應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜、納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析。
建議配件
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| 溫控臺(tái) | Mapping擴(kuò)展模塊 | 真空泵 | 透射吸附組件 |
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