4200A-SCS 是一個模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時進(jìn)行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測試。
4200A-SCS 是一個模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時進(jìn)行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測試。使用其可選的 4200A-CVIV 多通道開關(guān)模塊，可輕松地在 I-V 和 C-V 測量之間切換，而無需重新布線或抬起探針。4200A-SCS 是較高性能的分析儀，可加快用于材料研究、半導(dǎo)體器件設(shè)計、工藝開發(fā)或生產(chǎn)的復(fù)雜器件的測試。
特點 |
優(yōu)勢 |
| 將源測量單元、C-V 單元和超快脈沖 I-V 單元無縫結(jié)合的一體化系統(tǒng) | 快速、清晰和準(zhǔn)確地執(zhí)行 I-V 特性分析、交流阻抗測量、波形捕獲和瞬態(tài) I-V 測量 |
| Clarius™ 基于 GUI 的軟件，支持觸摸或鼠標(biāo)控制 | 高級測試定義、參數(shù)分析、圖形繪制和自動化功能，實現(xiàn)清晰、卓越的測量和分析 |
| 內(nèi)置上下文相關(guān)的測量視頻和 450 多種應(yīng)用測試 | 快速啟動測試及提供測量幫助和故障排除向?qū)?/td> |
| I-V 源測量單元 (SMU) | ±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模塊，100 fA 測量分辨率，以及帶可選前放的 0.1 fA 測量分辨率 |
| C-V 多頻率電容單元 (CVU) | 交流阻抗測量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 頻率范圍 |
| I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV) | 在 I-V 和 C-V 測量之間輕松切換或?qū)?C-V 測量移至任何終端，而無需重新布線或抬起探針 |
| 脈沖式 I-V 超快脈沖測量單元 (PMU) | 兩個獨立或同步的高速脈沖式 I-V 源和測量通道；200 MSa/s，5 ns 采樣率；利用可選的前放將電流靈敏度擴大到幾十皮安 |
| 高電壓脈沖發(fā)生器單元 (PGU) | 兩通道高速脈沖電壓源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA |
| 可完全定制和升級 | 現(xiàn)在或以后均可根據(jù)需要隨時添加模塊 |
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