Dektak XTL探針式輪廓儀系統(tǒng)
  嚴(yán)格質(zhì)量保證與質(zhì)量控制下，獲得300毫米較優(yōu)性能探測(cè)
   Bruker公司的新型Dektak XTL 探針式輪廓儀系統(tǒng)可容納多達(dá)350毫米x350毫米的樣品，將Dektak 優(yōu)異的可重復(fù)性和再現(xiàn)性應(yīng)用于大尺寸晶片及面板制造業(yè)。Dektak XTL集成氣體隔震裝置和方便的交互鎖裝置使儀器在全封閉工作環(huán)境下運(yùn)行，是當(dāng)今要求苛刻的生產(chǎn)環(huán)境的理想之選。
   它的雙攝像頭設(shè)置使空間感增強(qiáng)，其高水平自動(dòng)化可較大限度提高生產(chǎn)量。Bruker公司特有的具有圖形識(shí)別功能的Vision64 生產(chǎn)接口可滿(mǎn)足用戶(hù)需求，使數(shù)據(jù)采集成為一個(gè)自主的和可重復(fù)的過(guò)程，較大限度地降低操作員的變化帶來(lái)的影響。
   Dektak XTL已經(jīng)針對(duì)持續(xù)生產(chǎn)工作時(shí)間和較大生產(chǎn)量在工藝開(kāi)發(fā)和質(zhì)量保證與質(zhì)量控制應(yīng)用方面進(jìn)行了全面優(yōu)化，將本產(chǎn)品設(shè)計(jì)為業(yè)界較易使用的探針式輪廓儀。

 

Dektak XTL產(chǎn)品特性

Bruker公司特有的雙攝像頭控制系統(tǒng)?
1.通過(guò)點(diǎn)擊實(shí)時(shí)視頻更快鎖定到關(guān)注點(diǎn)
2.通過(guò)選擇實(shí)時(shí)視頻中的兩個(gè)點(diǎn)快速定位樣品（自動(dòng)旋轉(zhuǎn)使連線水平）
3.通過(guò)在實(shí)時(shí)視頻中點(diǎn)擊掃描起始和結(jié)束位置簡(jiǎn)化測(cè)量設(shè)置（教學(xué)）

可靠的自動(dòng)化設(shè)置和操作
1.借助300毫米的自動(dòng)化編碼XY工作臺(tái)以及360度旋轉(zhuǎn)能力，精確編程控制無(wú)限制測(cè)量位置。
2.利用帶圖形識(shí)別功能的Vision64位產(chǎn)品軟件較大程度減少使用中的定位偏差
3.將自定義用戶(hù)提示以及其它元數(shù)據(jù)編入您的方案中，并存儲(chǔ)到數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)

方便的分析和數(shù)據(jù)采集
1.快速分析儀支持大部分常用分析方法，可輕松實(shí)現(xiàn)分析程序自動(dòng)化
2.通過(guò)臺(tái)階檢測(cè)功能將分析集中于復(fù)雜樣品上感興趣的特征
3.通過(guò)賦予每個(gè)測(cè)量點(diǎn)*名稱(chēng)并自動(dòng)記錄到數(shù)據(jù)庫(kù)來(lái)簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)分析
4.Dektak在大樣品制造業(yè)中的傳奇性能

業(yè)界較佳的自動(dòng)分析軟件

   新增軟件功能使Dektak XTL成為市面上較強(qiáng)大、較易使用的探針式輪廓儀。系統(tǒng)使用的Vision64軟件,與Bruker公司的光學(xué)輪廓儀完全兼容。Vision64軟件可以進(jìn)行樣品任何位置測(cè)量、3D繪圖以及借助數(shù)百個(gè)內(nèi)置分析工具實(shí)現(xiàn)的高度定制表征方法。也可以使用Vision Microform軟件來(lái)測(cè)量曲率半徑等形狀。
   圖形識(shí)別功能可以盡量減少操作員誤差并提高測(cè)量位置精度。在同一軟件包內(nèi)，以直觀流程進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和2D、3D分析。每個(gè)系統(tǒng)都帶有Vision軟件許可證，可在裝有Windows7操作系統(tǒng)的個(gè)人電腦上安裝，用戶(hù)可在電腦桌面上創(chuàng)建數(shù)據(jù)分析和報(bào)告。

無(wú)與倫比的探針式檢測(cè)技術(shù)

Dektak XTL擁有超過(guò)40年的探針專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)和軟件定制生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，符合現(xiàn)在和未來(lái)的嚴(yán)格的行業(yè)發(fā)展藍(lán)圖。

300毫米高精度編碼XY工作臺(tái)為制造商提供可靠工具，滿(mǎn)足嚴(yán)格的可重復(fù)性和再現(xiàn)性要求。Dektak雙攝像頭控制系統(tǒng)裝有俯視攝像頭以及頂尖高倍率側(cè)視攝像頭，使空間感增強(qiáng)；通過(guò)在視頻上點(diǎn)擊定位使操作者能夠快速調(diào)整樣品至正確位置，以便進(jìn)行快速簡(jiǎn)單的測(cè)量設(shè)置和自動(dòng)化編程。系統(tǒng)方便使用的連鎖門(mén)使樣品裝載和卸載更加安全快捷。其它硬件特性包括：
1.為達(dá)到極低噪音水平而使用的單拱結(jié)構(gòu)和集成隔離結(jié)構(gòu)
2.可快速更換和自動(dòng)校準(zhǔn)的探針
3.為加速自動(dòng)數(shù)據(jù)采集而使用的高精度編碼XY工作臺(tái)
4.N-Lite低作用力時(shí)候采用Soft Touch 技術(shù)與1mm測(cè)量范圍同時(shí)使用，可進(jìn)行精細(xì)、高垂直范圍樣品測(cè)量


大幅面應(yīng)用的關(guān)鍵成果
   憑借其優(yōu)越性能和易用性的獨(dú)特結(jié)合，Dektak XTL成為新的質(zhì)量保證/質(zhì)量控制的研究標(biāo)準(zhǔn)，它被應(yīng)用于觸摸面板、太陽(yáng)能板、平板顯示器和半導(dǎo)體行業(yè)的工業(yè)薄膜沉積監(jiān)測(cè)。

 

晶片應(yīng)用：
沉積薄膜（金屬、有機(jī)物）的臺(tái)階高度
抗蝕劑（軟膜材料）的臺(tái)階高度
蝕刻速率測(cè)定
化學(xué)機(jī)械拋光（腐蝕，凹陷，彎曲）
大型基板應(yīng)用：
印刷電路板（凸起、臺(tái)階高度）
窗口涂層
晶片掩模
晶片卡盤(pán)涂料
拋光板
玻璃基板及顯示器應(yīng)用：
AMOLED
液晶屏研發(fā)的臺(tái)階步級(jí)高度測(cè)量
觸控面板薄膜厚度測(cè)量
太陽(yáng)能涂層薄膜測(cè)量
柔性電子器件薄膜：
有機(jī)光電探測(cè)器
印于薄膜和玻璃上的有機(jī)薄膜
觸摸屏銅跡線