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碳化硅涂層

型號(hào):SiC 品牌:HUAPAN

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一、產(chǎn)品概述
SIC 涂層具有耐高溫、抗氧化、純度高和耐酸堿鹽及有機(jī)試劑等特性,物理化學(xué)性能穩(wěn)定。SIC涂層作為一種新耗材,在MOCVD設(shè)備、粉末燒結(jié)等工序上逐漸代替高純石墨。
二、主要特點(diǎn)
1.高溫抗氧化:溫度高達(dá)1600℃時(shí)抗氧化性能仍非常好。
2.純度高:高溫氯化條件下采用化學(xué)氣相沉積方法制得。
3.耐沖刷:硬度高、表面致密、顆粒細(xì)。
4.抗腐蝕性:耐酸、堿、鹽及有機(jī)試劑腐蝕。
5.化學(xué)性能穩(wěn)定、熱導(dǎo)率高、熱膨脹系數(shù)小、耐磨性能好
三、產(chǎn)品應(yīng)用
1、用作硅外延生長(zhǎng)用基座
2、用作單晶硅生長(zhǎng)爐內(nèi)的爐具配件
3、MOCVD用基座
4、用于加熱器
5、用作耐氧化材料
6、用于均熱板

 

 

 

 

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