PE-CVD等離子體輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
石墨烯（Graphene）自2004年發(fā)現(xiàn)以來(lái)，在短短數(shù)年間已經(jīng)成為凝聚態(tài)物理、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域研究中倍受矚目的“明星材料”。
化學(xué)氣相沉積（CVD）是目前制備石墨烯的較有效、也是較具研究?jī)r(jià)值的方法。搭建一套完整而高效的石墨烯化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)并非易事，即使在系統(tǒng)搭建完成后，要真正制備出單層石墨烯，還需要較長(zhǎng)時(shí)間的參數(shù)優(yōu)化。這往往使得科研人員錯(cuò)過(guò)了較佳的研究時(shí)機(jī)。
系統(tǒng)參數(shù) ：
樣品腔
1、 樣品腔材質(zhì)：高純度石英管 1根
2、 直徑：50mm； 長(zhǎng)度：1500mm
3、 端口：不銹鋼法蘭接口，內(nèi)置水冷卻結(jié)構(gòu)
4、接口：1/4寸不銹鋼管
等離子體發(fā)生器
1、 功率輸出范圍: 0-500W
2、 信號(hào)頻率: 13.56MHZ±0.005%
3、 功率穩(wěn)定度：≤2W;
4、 較大反射功率:100W
5、整機(jī)保護(hù)：DC過(guò)載保護(hù)、DC/功放過(guò)溫保護(hù)、反射功率保護(hù)、匹配超時(shí)保護(hù);
6、傳輸效率：＞90%
7、頻率自動(dòng)匹配時(shí)間：3~5s
加熱爐
1、溫度范圍：室溫-1200°C
2、控溫精度：±1°C
3、加熱區(qū)長(zhǎng)度：400mm
4、恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm
5、加熱元件：高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲OCr27Al7Mo2
6、額定功率：2.5KW
7、工作電壓：220V
8、較大升溫速度：<15min （滑動(dòng)模式：<10min）
導(dǎo)軌滑塊
1、爐臺(tái)滑動(dòng)范圍：1200mm
2、移動(dòng)方式：手動(dòng)
氣體控制
1、氣體：Ar， H2 ， CH4
2、流量控制：
3、Ar(1000sccm), H2(100sccm）, CH4（50sccm）
4、流量控制器：日本小島
5、精度：1%，
6、輸入：0-5V RS232
7、較大耐壓：1MPa
8、控制響應(yīng)時(shí)間：<1S
真空系統(tǒng)
1、真空泵：Agilent DS202
2、壓力范圍：10-3 Torr - 760 Torr
3、較大抽速：8.3 m3/h
4、真空計(jì)：TamaGawa 皮拉尼真空計(jì)
5、真空測(cè)量范圍：1atm-10-1Pa
自動(dòng)控制系統(tǒng)
1、配備控制計(jì)算機(jī)及控制軟件，內(nèi)置生長(zhǎng)參數(shù)
2、實(shí)時(shí)顯示所有實(shí)驗(yàn)參數(shù)，
3、自動(dòng)保存實(shí)驗(yàn)參數(shù)
設(shè)備總尺寸
1、1800（L）*700（W）*1500（H）mm
免費(fèi)咨詢：0571-86775300
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