SVZK-300型多功能真空實(shí)驗(yàn)儀是一個真空實(shí)驗(yàn)平臺，適合于對學(xué)生開展真空實(shí)驗(yàn)教學(xué)。可進(jìn)行真空蒸鍍、磁控濺射，它也可以在高純

氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。用本設(shè)備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進(jìn)行成分分析。傳統(tǒng)的真空實(shí)驗(yàn)儀器大都由金屬部

件組成，很多主要的實(shí)驗(yàn)過程不直觀，學(xué)生只能通過儀表了解物理過程。本設(shè)備真空室部分采用高強(qiáng)度玻璃制造，儀器結(jié)構(gòu)緊湊合理，操作

簡單，物理過程直觀，容易引起學(xué)生的興趣，利于提高學(xué)生的實(shí)驗(yàn)?zāi)芰屠碚撀?lián)系實(shí)際的能力。

可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)：
1、真空的獲得與測量；2、蒸發(fā)法薄膜制備  3、直流磁控濺射鍍膜

設(shè)備的組成：

        SVZK-300型多功能真空實(shí)驗(yàn)儀由電氣控制系統(tǒng)與真空系統(tǒng)組成，其中電氣控制系統(tǒng)包括控制電路、真空測量儀與測量儀表；真空系統(tǒng)

包括玻璃真空室、真空管路、真空機(jī)組（直聯(lián)機(jī)械旋片泵和分子泵構(gòu)成二級真空系統(tǒng)）、真空測量。