有機物蒸發(fā)鍍膜機
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設(shè)備用途
適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。
設(shè)備組成
該設(shè)備主要由有機/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、蒸發(fā)源、樣品加熱控溫、電控系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)等部分組成。
技術(shù)參數(shù)：
近空間升華薄膜沉積系統(tǒng)
教學(xué)型真空鍍膜機
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