SVZK-300型多功能真空實驗儀是一個真空實驗平臺,適合于對學生開展真空實驗教學??蛇M行真空蒸鍍、磁控濺射,它也可以在高純
氬氣的保護之下進行多種離子處理。用本設備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進行成分分析。傳統(tǒng)的真空實驗儀器大都由金屬部
件組成,很多主要的實驗過程不直觀,學生只能通過儀表了解物理過程。本設備真空室部分采用高強度玻璃制造,儀器結構緊湊合理,操作
簡單,物理過程直觀,容易引起學生的興趣,利于提高學生的實驗能力和理論聯(lián)系實際的能力。
可開設的實驗:
1、真空的獲得與測量;2、蒸發(fā)法薄膜制備 3、直流磁控濺射鍍膜
設備的組成:
SVZK-300型多功能真空實驗儀由電氣控制系統(tǒng)與真空系統(tǒng)組成,其中電氣控制系統(tǒng)包括控制電路、真空測量儀與測量儀表;真空系統(tǒng)
包括玻璃真空室、真空管路、真空機組(直聯(lián)機械旋片泵和分子泵構成二級真空系統(tǒng))、真空測量。
技術參數(shù):
1、真空室:采用硬質(zhì)玻璃制造,可直接觀察真空室內(nèi)各部件及實驗過程。包括真空室底盤、二對無氧銅電極、烘烤加熱器、蒸發(fā)擋板、襯底加熱燈管。
2、分子泵:本系統(tǒng)采用F160/620渦輪分子泵,其冷卻方式為通水冷卻,必須采用水冷。
3、真空控制系統(tǒng):直觀地反映整個真空抽氣過程的原理和各閥門工作狀態(tài)。
4、真空測量系統(tǒng):采用數(shù)顯復合真空計測量系統(tǒng)的真空度,一路電離規(guī)和一路熱偶規(guī)構成高、低真空測量。(儀器自帶2路熱偶規(guī),可根據(jù)需要安裝在不同位置,需額外增加配件.)熱偶規(guī): 4.0x102Pa——1.0x10-1Pa電離規(guī): 1.0x10-1Pa——1.0x10-5Pa
5、烘烤加熱系統(tǒng):真空室烘烤和襯底加熱采用高品質(zhì)溫度控制器進行加熱控溫;
6、蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng):采用單相整流固態(tài)調(diào)壓方式控制蒸發(fā)鍍膜電源,蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)及電壓、電流指示。
7、電源總控系統(tǒng):整機的電源控制及工作狀態(tài)指示。