EX1手動橢圓偏振測厚儀是基于消光法(或稱“零橢偏”)橢偏測量原理,針對納米薄膜厚度測量領域推出的一款手動教學儀器。
EX1 儀器適用于納米薄膜的厚度測量、以及納米薄膜的厚度和折射率測量。
EX1儀器還可用于測量塊狀材料(如,金屬、半導體、介質)的折射率n和消光系數(shù)k。
特點:
· 消光法橢偏測量原理
儀器采用消光法橢偏測量原理,易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。
· 方便的樣品水平放置方式
采用水平放置樣品,方便樣品取放。
· 精巧的一體化結構
集成一體化設計,精巧的儀器外形,方便地顯示儀器測量過程中的光強信息。
· 高準確性的激光光源
采用激光作為探測光波,測量波長準確度高。
· 實用的樣品測量功能
可測量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復折射率。
· 方便的儀器手動操作
手動完成測量,儀器軟件輔助進行測量數(shù)據(jù)的分析。
· 可擴展的儀器功能
利用本儀器,可通過適當擴展,完成多項偏振測量實驗,如馬呂斯定律實驗、旋光測量實、旋光等。
應用:
EX1適合于教學領域,適用于單層納米薄膜的薄膜厚度測量,也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。
EX1可測量的樣品涉及微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領域。